Vakuumbeschichtungen mit Plasmabehandlung sind hochentwickelte Verfahren zur funktionellen und dekorativen Oberflächenveredelung. Sie ermöglichen die Erzeugung dünner, haftfester Schichten mit spezifischen Eigenschaften wie Härte, Korrosionsschutz oder optischer Wirkung.

Hauptverfahren der Vakuumbeschichtung mit Plasmaunterstützung

PVD (Physical Vapour Deposition)

• Bei der PVD-Technologie wird ein Beschichtungsmaterial (z. B. Metall) im Vakuum verdampft. Das verdampfte Material kondensiert auf dem Substrat und bildet eine dünne, dichte Schicht mit hoher Härte und Haftfestigkeit. PVD-Schichten sind typischerweise nur wenige Mikrometer dick und finden Anwendung in Bereichen wie Werkzeugbeschichtung, Optik und Elektronik.

PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition)

• Bei der PECVD wird ein Plasma genutzt, um chemische Reaktionen im Gasraum zu initiieren, wodurch sich dünne Schichten auf dem Substrat abscheiden. Dieses Verfahren eignet sich besonders für die Abscheidung von nichtmetallischen Schichten wie Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid und wird häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt.

Plasmachemische Oxidation (PCO)

• Die PCO ist ein elektrochemisches Verfahren, bei dem auf der Oberfläche von Leichtmetallen wie Aluminium oder Magnesium durch Plasmaeinwirkung eine oxidische Schutzschicht gebildet wird. Diese Schichten bieten hervorragenden Korrosionsschutz und hohe mechanische Belastbarkeit.

Vorteile der Vakuumbeschichtung mit Plasmabehandlung

• Hohe Schichtqualität: Dichte, gleichmäßige und haftfeste Schichten mit kontrollierbarer Dicke.
• Vielseitigkeit: Anpassung der Schichteigenschaften durch Variation der Prozessparameter.
• Umweltfreundlichkeit: Reduzierter Materialverbrauch und geringere Umweltbelastung im Vergleich zu konventionellen Beschichtungsverfahren.
• Breites Anwendungsspektrum: Einsatz in der Automobilindustrie, Medizintechnik, Elektronik, Optik und vielen weiteren Bereichen.​

Die Auswahl des geeigneten Verfahrens hängt von den spezifischen Anforderungen an die Beschichtung ab, wie z. B. dem gewünschten Schutz, den mechanischen Eigenschaften und dem Substratmaterial.